Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev – Bc. Martin Šetina
Bc. Martin Šetina
Diplomová práce
Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev
Design of plasma deposition control for thin films
Anotace:
Tato práce se zabývá kompletním návrhem a realizací řízení vakuové depoziční komory. Klade si za cíl co nejvíce zmapovat problematiku a navrhnout elektronické řízení, které bude možné snadno přizpůsobovat konkrétním požadavkům výzkumné činnosti v oblasti nanomateriálů a tenkých struktur.Abstract:
This thesis focuses on the complete design and implementation of control for a vacuum deposition chamber. Its objective is to comprehensively explore the issues and propose electronic control that can be easily adapted to the specific demands of research activities in the field of nanomaterials and thin structures.Klíčová slova
RF PACVD
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 5. 2023
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: doc. Ing. Stanislav Petrík, CSc.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
Šetina, Martin. Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev. Liberec, 2023. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíTechnická univerzita v Liberci
Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíMagisterský studijní program / obor:
Elektrotechnika a informatika / Mechatronika
Práce na příbuzné téma
Název
Vložil
Vloženo
Práva