Příprava nanostrukturovaných tenkých vrstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu – Mgr. Katarína Bernátová
Mgr. Katarína Bernátová
Bachelor's thesis
Příprava nanostrukturovaných tenkých vrstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu
Deposition of thin films by magnetron sputtering excited by high power pulses
Abstract:
This thesis is dedicated to the study of high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) compared with the process of direct current magnetron sputtering (DC-MS). The object extensively examined in the work is a deposited nanocomposite thin layer TiC/C. In the first chapter the theoretical basis of the physical principle of magnetron sputtering and the methods of analysis on the layers is introduced …viacAbstract:
Táto bakalárska práca sa venuje štúdiu magnetrónového naprašovania budeného pulzmi veľkého výkonu v porovnaní s procesom jednosmerného magnetrónového naprašovania. Objektom skúmania tejto práce sú deponované tenké nanokompozitné vrstvy typu TiC/C. Prvá kapitola predstavuje teoretické základy fyzikálneho princípu magnetrónového naprašovania a metód analýzy vrstiev. Experimentálna časť popisuje výber …viac
Jazyk práce: Slovak
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 21. 5. 2015
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/p02yy/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 23. 6. 2015
- Vedúci: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
BERNÁTOVÁ, Katarína. \textit{Příprava nanostrukturovaných tenkých vrstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu}. Online. Bakalárska práca. Brno: Masarykova univerzita, Faculty of Science. 2015. Dostupné z: https://theses.cz/id/7jc7cz/.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / odbor:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics