Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT – Ing. David Vápenka
Ing. David Vápenka
Disertační práce
Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT
Study of the ion beam induced crystallization of the PZT thin film
Anotace:
Předkládaná disertační práce se zabývá studiem vlivu rozbíhavého iontového svazku na krystalickou strukturu nanášené tenké vrstvy zirkoničitanu-titaničitanu olovnatého (angl. Lead Zirconate titanate -- PZT). Iontový svazek je v našem případě produkován běžně komerčně používaným iontovým zdrojem Kaufmannova typu, určeným k čištění a modifikaci vlastností substrátu a rostoucí tenké vrstvy. V práci je …víceAbstract:
This dissertation deals with the study of the effect of the divergent ion beam on the crystal structure of the PZT thin film. In our case, the ion beam is produced by a commercially available Kaufmann-type ion source designed for cleaning and modifying the properties of the substrate surface and the growing thin film. The thesis describes the theoretical background of deposition and characterization …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 3. 2019
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 2. 7. 2019
- Vedoucí: prof. Ing. Pavel Mokrý, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
VÁPENKA, David. \textit{Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT}. Online. Disertační práce. Liberec: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií. 2019. Dostupné z: https://theses.cz/id/7oa6ci/.
Jak správně citovat práci
Vápenka, David. Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT. Liberec, 2019. disertační práce (Ph.D.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíTechnická univerzita v Liberci
Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíDoktorský studijní program / obor:
Aplikované vědy v inženýrství / Aplikované vědy v inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Vývoj mikrofluidního čipu pro modelování fosfolipidových membrán
Kateřina Haluzová
Název
Vložil
Vloženo
Práva