Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT – Ing. David Vápenka
Ing. David Vápenka
Doctoral thesis
Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT
Study of the ion beam induced crystallization of the PZT thin film
Abstract:
Předkládaná disertační práce se zabývá studiem vlivu rozbíhavého iontového svazku na krystalickou strukturu nanášené tenké vrstvy zirkoničitanu-titaničitanu olovnatého (angl. Lead Zirconate titanate -- PZT). Iontový svazek je v našem případě produkován běžně komerčně používaným iontovým zdrojem Kaufmannova typu, určeným k čištění a modifikaci vlastností substrátu a rostoucí tenké vrstvy. V práci je …moreAbstract:
This dissertation deals with the study of the effect of the divergent ion beam on the crystal structure of the PZT thin film. In our case, the ion beam is produced by a commercially available Kaufmann-type ion source designed for cleaning and modifying the properties of the substrate surface and the growing thin film. The thesis describes the theoretical background of deposition and characterization …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 3. 2019
Thesis defence
- Date of defence: 2. 7. 2019
- Supervisor: prof. Ing. Pavel Mokrý, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
VÁPENKA, David. \textit{Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Liberec: Technical University of Liberec, Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies. 2019. Available from: https://theses.cz/id/7oa6ci/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
Vápenka, David. Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT. Liberec, 2019. disertační práce (Ph.D.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíTechnical University of Liberec
Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary StudiesDoctoral programme / field:
Applied Science in Technology / Applied Science in Technology
Theses on a related topic
-
Vývoj mikrofluidního čipu pro modelování fosfolipidových membrán
Kateřina Haluzová
Name
Posted by
Uploaded/Created
Rights