Reaktivní magnetronová depozice Al-Si-N a charakterizace jejich vlastností

Daniel JAVDOŠŇÁK

Diplomová práce

Reactive magnetron deposition of Al-Si-N, and the characterization of their properties

Anotace:

Tato diplomová práce pojednává o mechanických vlastnostech nanokompozitních vrstev Al-Si-N připravených nevyváženým magnetronovým naprašováním ze slitinového terče Al-Si (90 hm.% Al, 10 hm.% Si) a jejich odolnosti proti vzniku trhlin při namáhání ohybem a indentací s vysokým zatížením (až 1 N). Zabývá se hledáním depozičních podmínek, při kterých bude možné připravit vrstvy systému Al-Si-N se zvýšenou odolností proti vzniku trhlin. Vrstvy by měly vykazovat (i) parametr vyjadřující elasticitu H/E^*0.13, (ii) vysokou elastickou vratnost W_e80 %, (iii) makropnutí -1 GPa a (iv) střední potenciál substrátu v době pulzu U_sap|-50 | V, pro zvýšenou odolnost vůči vzniku trhlin.

Abstract:

This diploma thesis deals with the mechanical properties of nanocomposite thin films Al-Si-N (Al:Si = 90:10 hm. %) deposited by unbalanced magnetron sputtering, their resistance to cracking in bending test and indentation test with high load until 1 N. This work is mainly focused on seeking appropriate deposition conditions where could be possible to prepare thin films of Al-Si-N system, with enhanced resistance to creation cracks. This films should exhibit (i) a parameter expressing the elasticity of layer H/E^*0.13, (ii) high elastic recovery W_e80 %, (iii) macrostress -1 GPa and (iv) average negative bias in pulse U_sap|-50 | V, for enhanced resistance to cracking.

Klíčová slova

reaktivní magnetronová depozice, nenvyvážený magnetron, Al-Si-N, mechanické vlastnosti, odolnost proti praskání, indentační zkouška, ohybová zkouška, tvrdost, nanokompozit

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 24. 8. 2015

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Magisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství