Reaktivní magnetronová depozice Al-Si-N a charakterizace jejich vlastností – Daniel JAVDOŠŇÁK
Daniel JAVDOŠŇÁK
Diplomová práce
Reaktivní magnetronová depozice Al-Si-N a charakterizace jejich vlastností
Reactive magnetron deposition of Al-Si-N, and the characterization of their properties
Anotace:
Tato diplomová práce pojednává o mechanických vlastnostech nanokompozitních vrstev Al-Si-N připravených nevyváženým magnetronovým naprašováním ze slitinového terče Al-Si (90 hm.% Al, 10 hm.% Si) a jejich odolnosti proti vzniku trhlin při namáhání ohybem a indentací s vysokým zatížením (až 1 N). Zabývá se hledáním depozičních podmínek, při kterých bude možné připravit vrstvy systému Al-Si-N se zvýšenou …víceAbstract:
This diploma thesis deals with the mechanical properties of nanocomposite thin films Al-Si-N (Al:Si = 90:10 hm. %) deposited by unbalanced magnetron sputtering, their resistance to cracking in bending test and indentation test with high load until 1 N. This work is mainly focused on seeking appropriate deposition conditions where could be possible to prepare thin films of Al-Si-N system, with enhanced …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 24. 8. 2015
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
JAVDOŠŇÁK, Daniel. Reaktivní magnetronová depozice Al-Si-N a charakterizace jejich vlastností. Plzeň, 2015. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědMagisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÁ DEPOZICE NANOKOMPOZITNÍCH TENKÝCH VRSTEV NA BÁZI OXIDŮ A OXYNITRIDŮ
Michal MEISSNER -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev na bázi VO2
Michal KAUFMAN -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev VO2 a jejich charakterizace
Tomáš KUBÁSEK -
Reaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev oxidů vanadu
Tomáš VYTISK -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Jiří REZEK -
Reaktivní magnetronová depozice vybraných oxidových vrstev a jejich vlastnosti
Václav ŠATAVA