Bc. Jitka JANDOVÁ

Master's thesis

Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N

Pulsed magnetron depozition of Hf-Si-B-C-N thin films and their properties
Abstract:
Předkládaná diplomová práce se zabývá přípravou multikomponentních tenkých vrstev Hf-Si-B-C a Hf-Si-B-C-N metodou pulzního magnetronového naprašování. Deponované vrstvy jsou následně zkoumány z hlediska prvkového složení a struktury, mechanických, tribologických, elektrických vlastností a oxidačních odolnosti. Cílem práce je především nalezení korelací mezí procesními parametry, prvkovým složením, …more
Abstract:
This thesis is focused on multicomponent Hf-Si-B-C and Hf-Si-B-C-N thin films preparation by pulsed magnetron sputtering. The elemental composition, structure, mechanical, electrical properties and oxidation resistance of deposited films were subsequently evaluated. The main aim was to find the correlations between process parameters, elemental composition, structure and functional properties of these …more
 

Keywords

pulzní depozice magnetronové naprašování tenké vrstvy multikomponentní systém diboridy přechodových kovů hafnium Hf-Si-B-C-(N)
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 31. 7. 2014
Accessible from:: 31. 12. 2999

Thesis defence

  • Date of defence: 28. 8. 2014
  • Supervisor: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

JANDOVÁ, Jitka. Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N. Plzeň, 2014. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Full text of thesis

Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=54743 Reference to the local database file of the institution