Bc. Jitka JANDOVÁ

Diplomová práce

Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N

Pulsed magnetron depozition of Hf-Si-B-C-N thin films and their properties
Anotace:
Předkládaná diplomová práce se zabývá přípravou multikomponentních tenkých vrstev Hf-Si-B-C a Hf-Si-B-C-N metodou pulzního magnetronového naprašování. Deponované vrstvy jsou následně zkoumány z hlediska prvkového složení a struktury, mechanických, tribologických, elektrických vlastností a oxidačních odolnosti. Cílem práce je především nalezení korelací mezí procesními parametry, prvkovým složením, …více
Abstract:
This thesis is focused on multicomponent Hf-Si-B-C and Hf-Si-B-C-N thin films preparation by pulsed magnetron sputtering. The elemental composition, structure, mechanical, electrical properties and oxidation resistance of deposited films were subsequently evaluated. The main aim was to find the correlations between process parameters, elemental composition, structure and functional properties of these …více
 

Klíčová slova

pulzní depozice magnetronové naprašování tenké vrstvy multikomponentní systém diboridy přechodových kovů hafnium Hf-Si-B-C-(N)
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 31. 7. 2014
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 28. 8. 2014
  • Vedoucí: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

JANDOVÁ, Jitka. Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N. Plzeň, 2014. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=54743 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce