Magnetronová depozice oxidů pro TCO aplikace

Pavel SLÁMA

Bachelor's thesis

Magnetron deposition of oxides for TCO applications

Anotácia:

Oxidy kovů mají nezastupitelnou roli v návrhu moderních zařízeních vyzařující a absorbující světlo v roli transparentních vodičů. Klasické řešení využívá SnInO, kde In je drahou komponentou. V této práci se vyšetřují vrstvy tvořené oxidy cínu a zinku jako potenciální náhrady indiových vrstev. Vrstvy jsou naprašovány v magnetronové aparatuře a poté zkoumány různými metodami.

Abstract:

Metal oxides have irreplaceable role as transparent conductors in design of modern devices emitting and absorbing light. Commercial solution uses SnInO where In is expensive component. Thin films of tin and zinc oxide are studied in this bachelor's thesis as potential replacement of indium films. Films were sputtered on target using magnetron and then examined by various methods.

Kľúčové slová

ITO, oxidy kovů, ZnO, SnO, SnZnO, magnetronové naprašování, profilometrie, rentgenová fotoelektronová spektroskopie, rentgenová difrakce, čtyřbodová metoda

Jazyk práce: Czech

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 25. 4. 2019

Zverejniť od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedúci: doc. Ing. Martin Kormunda, Ph.D.

JAN EVANGELISTA PURKYNĚ UNIVERSITY IN ÚSTÍ NAD LABEM

Faculty of Science

Bachelor programme / odbor:
Applied Physics / Applied Nanotechnology