Studium degradace tenkých vrstev

Bc. Jan Válek, Ph.D.

Diplomová práce

Study of the degradation of the thin films

Anotace:

Cílem diplomové práce „Studium degradace tenkých vrstev“ je sestavení a základní kalibrace (justace) zařízení pro fototermální deflexní spektroskopii. V úvodní části práce je popsána struktura krystalického a amorfního křemíku, používaného k výrobě fotovoltaických článků. Dále jsou popsány metody pro stanovení vlastností amorfního křemíku (PDS a CPM). V dalších kapitolách jsou již popsány jednotlivé komponenty a jejich parametry. V posledních kapitolách jsou popsány metody měření antivibračních charakteristik vibračního stolu a teploty v okolí aparatury PDS. V práci jsou uvedena doporučená nastavení jednotlivých komponentů aparatury v závislosti na jejich parametrech a požadavcích na výstupní hodnoty.

Abstract:

The aim of the diploma thesis „Study of the degradation of the thin films“ is assembling and basic calibration of a device for photothermal deflection spectroscopy. In an introductory part of the thesis, a structure of crystalline and amorphous silicon used for production of photovoltaic cells is described. Methods for determination of properties of amorphous silicon (PDS and CPM) are also described. In the next chapters, individual components and their parameters are described. In the last chapters, methods for measurement of antivibration characteristics of a vibration table and temperatures in the surrounding of the device PDS are described. Recommended settings of individual components of the device in the dependence on their parameters and requests for output values are shown in the thesis.

Klíčová slova

fototermální deflexní spektroskopie, křemík, a-Si, H, index lomu, koeficient absorpce, vibrace, antivibrační stůl, photothermal deflection spectroscopy, silicon, index of refraction, absorption coefficient, vibration, antivibration table

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 29. 4. 2009

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 1. 6. 2009
• Vedoucí: doc. RNDr. Petr Sládek, CSc.
• Oponent: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Masarykova univerzita

Pedagogická fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Učitelství pro základní školy / Učitelství fyziky pro základní školy