Studium termální stability DLC vrstev – Mgr. Tomáš Gardelka
Mgr. Tomáš Gardelka
Bakalářská práce
Studium termální stability DLC vrstev
Study of thermal stability of DLC thin films
Anotace:
Cílem této práce je studovat termální stabilitu diamantu-podobných uhlíkových vrstev. Ke studiu bylo použito 8 vrstev připravených metodou PECVD. Vrstvy byly umístěné ve vakuové aparatuře a podstupovaly řízené žíhání uvnitř elektrické laboratorní pece. Díky dosažení vysokého vakua v aparatuře bylo možné pomocí kvadrupólového hmotnostního spektrometru sledovat okamžitý vývoj desorpce různých hmot ze …víceAbstract:
The goal of this work is to study thermal stability of diamond-like carbon films. 8 different films were prepared using PECVD method in order to study dependence of thermal stability of these films on used deposition conditions. Films were placed in the vacuum chamber and underwent controlled annealing inside of an electric laboratory furnace. Thanks to the high vacuum inside of the apparatus we could …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2010
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/enedp/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 29. 6. 2010
- Vedoucí: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) a její aplikace pro výzkum povrchových procesů
Michal Potoček -
Metoda termální desorpční spektroskopie (TDS) a její aplikace pro výzkum povrchových procesů
Michal Potoček -
Studium termální stability diamantu podobných tenkých vrstev připravených plazmochemickou depozicí
Jaroslav Zůda -
Ethylenediamine based PA Thin-Film Composite Membrane for Separation of Salty Water
Vojtěch John -
Structural, optic and magnetooptic properties of epitaxial thin film ferrites
Michaela Tomíčková -
Thin film composite membranes for gas separation
Hedvika Schwarzová -
Effects of elaboration conditions on structural and magnetic properties of SnO2: bulks and thin films
Petr Pazourek -
Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem
Tomáš Gardelka