Vliv přidání Cu na mechanické a antibakteriální vlastnosti naprašovaných vrstev – Bc. Michal ZÍTEK
Bc. Michal ZÍTEK
Master's thesis
Vliv přidání Cu na mechanické a antibakteriální vlastnosti naprašovaných vrstev
The influence of adding Cu on the mechanical and antibacterial properties of sputtered layers
Abstract:
Předmětem této diplomové práce byla příprava tenkých vrstev ZrCuN, které byly reaktivně naprašovány ve směsi Ar + N2 za použití nevyváženého duálního magnetronu, na kterém byly nasazeny skládané terče složené ze Zr disku připevněného Cu kroužkem s vnitřním průměrem in = 34 mm. Tenké vrstvy byly deponovány na Si a Mo substráty, které byly umístěny ve vzdálenosti ds-t = 80 mm od terčů. Byly připraveny …moreAbstract:
The subject of this diploma thesis is the deposition of ZrCuN thin films, which were reactively sputtered in Ar + N2 mixture using unbalanced dual magnetron equipped with stacked targets composed of Zr disc attached by Cu ring with an inner diameter of in = 34 mm. Thin films were deposited on Si and Mo substrates placed at a distance of ds-t = 80 mm from targets. There were prepared three series of …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 30. 5. 2014
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ZÍTEK, Michal. \textit{Vliv přidání Cu na mechanické a antibakteriální vlastnosti naprašovaných vrstev}. Online. Master's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2014. Available from: https://theses.cz/id/999tb5/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
ZÍTEK, Michal. Vliv přidání Cu na mechanické a antibakteriální vlastnosti naprašovaných vrstev. Plzeň, 2014. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ