Studium chování hybridního PVD-PECVD procesu

Bc. Tereza Schmidtová

Diplomová práce

Behaviour of hybrid PVD-PECVD process

Anotace:

Tato práce je věnována studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí experimentálních diagnostických metod a také pomocí teoretického modelování. Popsány jsou fyzikální principy rozprašování a základní metody diagnostiky. Za účelem pochopení nehomogenity rozprašování a transportu rozprášených částic na substrát byla provedena měření pomocí LIF. Je prezentován vylepšený numerický model vycházející z Bergova modelu. Hysterezní smyčky byly experimentálně naměřeny pro různé reaktivní plyny pro pochopení rozdílů ve vzniku složených molekul na terči. Je nastíněno modelování hybridního PVD-PECVD procesu.

Abstract:

This work is dedicated to the study of reactive magnetron sputtering by experimental diagnostic methods and also by theoretical modelling. Physical principles of sputtering and basic diagnostic methods are presented. Experimental study by LIF was conducted to understand the non-uniformity of the sputtering and the transport of sputtered metal atoms towards a substrate. An improved numerical model based on Berg's model is presented. Experimental measurements of hysteresis loop were made for various reactive gases in order to gain insight into compound forming on the target. Outline of modelling of hybrid PVD--PECVD process is proposed.

Keywords

reaktivní magnetronové naprašování, hystereze, diagnostika, modelování, reactive magnetron sputtering, hysteresis, diagnostics, modelling

Jazyk práce: angličtina

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 15. 5. 2009

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 11. 6. 2009
• Vedoucí: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu