Strukturní analýza vodivé vrstvy naprášené na křemíkovou desku

Mgr. Jiří Havelka

Bakalářská práce

Structure analysis of a conductive layer on a silicon wafer

Anotace:

Předložená práce se zabývá strukturní analýzou vodivé vrstvy hliníku (resp. AlCuSi) naprášené na křemíkové desce o průměru 100 mm. V první části práce jsou obsaženy základní poznatky o výrobě polovodičových součástek. Zejména půjde o seznámení se s vlastnostmi křemíku, jeho oxidací, s provedením metalizace desky a také s folitografií, kterou jsme vyrobili pasivní součástky na desce. V další části se práce zabývá strukturní charakterizací vrstvy tj. mikroskopií, profilometrií a metodami rentgenového rozptylu. Nejdůležitější část je podrobně věnována výsledkům našeho měření a diskuzi. Byla zjištěna tloušťka tenké vodivé vrstvy, její drsnost a také odpory rezistorů, odkud jsme vypočítali rezistivitu vodivé vrstvy na desce.

Abstract:

In the presented work, we examine structure properties of a conductive layer of AlCuSi on a silicon wafer of 4 inches in diameter. First part of the work introduces elementary findings about producing semiconductor wafers and devices. Especially we discuss the properties of silicon, its oxidation, the metallization, and the pholitography - the procedure of creating the structure topology of passive components. After that we study structure characteristics by means of microscopy, profilometry and X-ray reflectometry. The last part discusses the achieved results. We determine thickness of the conductive layer, its roughness and resistance of resistors. From all these parametres we evaluate resistivity of the conductive layer.

Klíčová slova

strukturní analýza, rezistivita, metalizace, kontaktní profilometrie, drsnost, RTG odrazivost, tenká vrstva, structure analysis, resistivity, metallization, stylus profilometry, roughness, X-ray reflectivity, thin layer

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2010

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 29. 6. 2010
• Vedoucí: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika