Strukturní analýza vodivé vrstvy naprášené na křemíkovou desku – Mgr. Jiří Havelka
Mgr. Jiří Havelka
Bachelor's thesis
Strukturní analýza vodivé vrstvy naprášené na křemíkovou desku
Structure analysis of a conductive layer on a silicon wafer
Abstract:
Předložená práce se zabývá strukturní analýzou vodivé vrstvy hliníku (resp. AlCuSi) naprášené na křemíkové desce o průměru 100 mm. V první části práce jsou obsaženy základní poznatky o výrobě polovodičových součástek. Zejména půjde o seznámení se s vlastnostmi křemíku, jeho oxidací, s provedením metalizace desky a také s folitografií, kterou jsme vyrobili pasivní součástky na desce. V další části se …moreAbstract:
In the presented work, we examine structure properties of a conductive layer of AlCuSi on a silicon wafer of 4 inches in diameter. First part of the work introduces elementary findings about producing semiconductor wafers and devices. Especially we discuss the properties of silicon, its oxidation, the metallization, and the pholitography - the procedure of creating the structure topology of passive …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2010
Identifier:
https://is.muni.cz/th/ff4x4/
Thesis defence
- Date of defence: 29. 6. 2010
- Supervisor: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Rezistivita tenkých vrstev organických a anorganických polovodičových materiálů
Michael Hemza -
Měření tloušťky metalizace křemíkových desek
Michal Bednář -
Třískové obrábění a jeho vliv na drsnost povrchu
Lukáš Merhout -
Vliv struktury příze na drsnost tkanin
Anzhelika Kalinina -
Srovnání metod mechanické úpravy povrchu, jejich vlivu na drsnost a adhezi povlaku
Ondřej Přibyl -
Parametry obrábění ovlivňující drsnost povrchu
Jaroslav Žalud -
Analýza vlivu nárůstku na drsnost povrchu při soustružení nerezové oceli
Alois Běla -
Vliv tvaru zubu a jeho axiálního úhlu čela u frézy z polykrystalického diamantu na drsnost povrchu frézované součásti
Miroslav Zajíc