Mgr. Jiří Havelka

Bakalářská práce

Strukturní analýza vodivé vrstvy naprášené na křemíkovou desku

Structure analysis of a conductive layer on a silicon wafer
Anotace:
Předložená práce se zabývá strukturní analýzou vodivé vrstvy hliníku (resp. AlCuSi) naprášené na křemíkové desce o průměru 100 mm. V první části práce jsou obsaženy základní poznatky o výrobě polovodičových součástek. Zejména půjde o seznámení se s vlastnostmi křemíku, jeho oxidací, s provedením metalizace desky a také s folitografií, kterou jsme vyrobili pasivní součástky na desce. V další části se …více
Abstract:
In the presented work, we examine structure properties of a conductive layer of AlCuSi on a silicon wafer of 4 inches in diameter. First part of the work introduces elementary findings about producing semiconductor wafers and devices. Especially we discuss the properties of silicon, its oxidation, the metallization, and the pholitography - the procedure of creating the structure topology of passive …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2010

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 29. 6. 2010
  • Vedoucí: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta