Mikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíku

Poštulka, Dušan

EN SKPřihlásit se Přihlásit se (EduID)

Theses 9uq6q9

Mikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíku – Dušan Poštulka

Zpět na vyhledávání

Dušan Poštulka

Diplomová práce

Mikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíku

Microdefects in Czochralski single-crystal silicon

Anotace:

Tato práce je věnována studiu mikrodefektů v monokrystalech Czochralskiho křemíku s dopanty typu N. Charakterizace distribuce a charakteru mikrodefektů v křemíkových deskách byla provedena pomocí optického mikroskopu a skenovacího elektronového mikroskopu. Diplomová práce byla vytvořena za podpory společnosti ON Semiconductor Czech Republic, Rožnov pod Radhoštěm.

Abstract:

The diploma thesis is devoted to the study of microdefects in N-type Czochralski single-crystal silicon. Characterization of defects type and distribution was made using an optical microscope with differential interference contrast and scanning electron microscopy. This diploma thesis was created with the support of ON Semiconductor Czech Republic, Rožnov pod Radhošťem.

Klíčová slova

křemíková deska mikrodefekty Voronkovova teorie

Keywords

silicon wafer microdefects Voronkov theory

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 15. 5. 2019

Identifikátor: http://hdl.handle.net/10084/137484

Obhajoba závěrečné práce

Obhajoba proběhla 12. 6. 2019
Vedoucí: Karla Čech Barabaszová
Oponent: Jiří Luňáček

Citační záznam

Citovat tuto práci

Citace dle ISO 690:

POŠTULKA, Dušan. \textit{Mikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíku}. Online. Diplomová práce. Ostrava: Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava, Univerzitní studijní programy. 2019. Dostupné z: https://theses.cz/id/9uq6q9/.

@MastersThesis{Postulka2019thesis,
AUTHOR = "Poštulka, Dušan",
TITLE = "Mikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíku [online]",
YEAR = "2019 [cit. 2024-10-13]",
TYPE = "Diplomová práce",
SCHOOL = "Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava, Univerzitní studijní programyOstrava",
NOTE = "SUPERVISOR: Karla Čech Barabaszová",
URL = "https://theses.cz/id/9uq6q9/",
}

@MastersThesis{Postulka2019thesis,
AUTHOR = {Poštulka, Dušan},
TITLE = {Mikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíku},
YEAR = {2019},
TYPE = {Diplomová práce},
INSTITUTION = {Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava, Univerzitní studijní programy},
LOCATION = {Ostrava},
SUPERVISOR = {Karla Čech Barabaszová},
URL = {https://theses.cz/id/9uq6q9/},
URL_DATE = {2024-10-13},
}

{{Citace kvalifikační práce
 | příjmení = Poštulka
 | jméno = Dušan
 | instituce = Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava, Univerzitní studijní programy
 | titul = Mikrodefekty v monokrystalech Czochralskiho křemíku
 | url = https://theses.cz/id/9uq6q9/
 | typ práce = Diplomová práce
 | vedoucí = Karla Čech Barabaszová
 | rok = 2019
 | počet stran =
 | strany =
 | citace = 2024-10-13
 | poznámka =
 | jazyk = 
}}

Plný text práce

Právo: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS)se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.

Obsah online archivu závěrečné práce

Zveřejněno v Theses:

autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty

Jak jinak získat přístup k textu

Instituce archivující a zpřístupňující práci: VŠB - Technická univerzita Ostrava

VŠB - Technická univerzita Ostrava

Univerzitní studijní programy

Magisterský studijní program / obor:
Nanotechnologie / Nanotechnologie

Práce na příbuzné téma

Žádné práce na příbuzné téma.