Studium vysokofrekvenčních nízkotlakých doutnavých výbojů – Mgr. Radek Šmíd, Ph.D.
Mgr. Radek Šmíd, Ph.D.
Doctoral thesis
Studium vysokofrekvenčních nízkotlakých doutnavých výbojů
Study of radio frequency low pressure glow discharges
Abstract:
Předmětem předkládané práce je studium vysokofrekvenčích (vf) doutnavých výbojů využívaných pro plazmatem zesílenou depozici z plyné fáze (PECVD) v induktivním a kapacitním výboji v kyslíku a hexametyldisiloxanu (HMDSO). Pro studium vlivu průtoku kyslíku a HMDSO, tlaku plynů, směsi plynů a vf výkonu byla využita Langmuirova sonda, vf planární sonda, optická emisní spektroskopie a aktinometrie. Kapacitně …moreAbstract:
The subject of the thesis is the study of radio frequency (rf) glow discharges for plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) in oxygen and hexamethyldisiloxane (HMDSO) inductively and capacitively coupled discharges. Langmuir probe, rf planar probe, optical emission spectroscopy and actinometry were employed in order to study influence of oxygen/HMDSO flow rates, gas pressures, gas mixtures …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 19. 7. 2010
Identifier:
https://is.muni.cz/th/i2esc/
Thesis defence
- Date of defence: 30. 9. 2010
- Supervisor: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Reader: prof. Ing. Luděk Aubrecht, CSc., doc. RNDr. František Krčma, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics (4-years) / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Sub-nanosecond optical diagnostics of streamer discharges
Lukáš Kusýn -
Analysis of solid materials by means of laser-induced breakdown spectroscopy
Tereza Čtvrtníčková -
Optická emisní spektra atomů a molekul
Adam Fajnor -
Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče
Veronika NĚMCOVÁ -
Optická emisní spektroskopie bariérového výboje
Roman Jíra -
Charakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie
Sabina MALECOVÁ -
Elektrická sonda bez vf. kompenzace v plazmatu kapacitního výboje
Juraj Pálenik