Zpět na vyhledávání

Bc. Peter Klein, Ph.D.

Master's thesis

Zpětnovazební řízení reaktivního magnetronového naprašování zařízením Speedflo

Feedback system to control reactive magnetron sputtering
Abstract:
This work is dedicated to the study of control and theoretical modeling of reactive magnetron sputtering process. Physical properties of magnetron sputtering and hysteresis behavior by inlet of reactive gas are described. Commercially used device Speedflo, which is able to feedback control this process, is presented and tested in detail. The abilities to control process of reactive magnetron sputtering …more
Abstract:
Táto práca je venovaná štúdiu riadenia a teoretického modelovania procesu reaktívneho magnetrónového naprašovania. Opísané sú tu fyzikálne princípy samotného magnetrónového naprašovania ako aj hysterézne správanie pri pripustení reaktívneho plynu. Je tu prezentované a podrobne otestované komerčne používané zariadenie Speedflo, ktoré umožňuje spätnoväzobné riadenie takéhoto procesu. Pri rôzne definovaných …more
 

Keywords

Magnetrón Naprašovanie Speedflo Sputtering
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 5. 2012
Identifier: https://is.muni.cz/th/eksub/

Thesis defence

  • Date of defence: 12. 6. 2012
  • Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution

Masaryk University

Faculty of Science

Master programme / field:
Physics / Plasma Physics

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.