Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process – Mgr. Katarína Bernátová, Ph.D.
Mgr. Katarína Bernátová, Ph.D.
Doctoral thesis
Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process
Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process
Abstract:
Tato práce studuje magnetronové naprašování buzené pulzy velkého výkonu (HiPIMS), což je technika naprašování tenkých vrstev za účasti iontů materiálu tvořícího vrstvu. Ionizované rozprášené částice představují důležitý druh částic v HiPIMS výboji. Přidáním reaktivního plynu do procesu lze vyvinout nové materiály. Pro pochopení a zlepšení tohoto prostorově a časově závislého procesu se provádí diagnostika …moreAbstract:
This thesis studies the high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) as a metal ion-assisted thin film deposition technique. The ionised sputtered particles represent the crucial film-forming species in the HiPIMS discharge. By adding the reactive gas into the process, novel materials can be developed. In order to understand and improve this spatially and temporally dependent process, the diagnostic …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 4. 2022
Identifier:
https://is.muni.cz/th/x97em/
Thesis defence
- Date of defence: 14. 6. 2022
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
- Reader: doc. Ing. Tomáš Kozák, Ph.D., prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
BERNÁTOVÁ, Katarína. \textit{Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2022. Available from: https://theses.cz/id/ajlavu/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Space and time resolved study of reactive HIPIMS process
Matej Fekete -
Určení absolutní koncentrace částic při magnetronovém naprašování
Jan Slaný -
Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu
Šimon Žulták -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Diagnostika ionizačních center v HiPIMS výboji
Peter Burda -
Diagnostika a modelování vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů
Jan LAZAR -
Space and time resolved study of reactive HIPIMS process
Matej Fekete -
Studium reaktivního HIPIMS procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Katarína Bernátová