Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností – Bc. Karolína Sedláčková
Bc. Karolína Sedláčková
Master's thesis
Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností
Development of methods for surface topography measurement with sub-nanometer accuracy
Abstract:
The aim of the thesis was to create a simulation tool inspecting the influence of vibration to evaluation signal obtained from white-light interferometry. The theoretical part is dedicated to introducing the properties of different illumination sources and describing optical methods for examining surface topography. The knowledge gained while working with the simulation tool was applied to the development …moreAbstract:
Cílem práce bylo vyvinout simulační software, který zkoumá vliv vibrací na signál získaný z white-light interferometrie a aplikovat získané dovednosti ve vývoji vývoji nanopozičního měřícího zařízení pracujícího na výše zmíněném principu. Teoretická část je věnována popisu vlastností světla a popisu optických metod pro zkoumání topografie povrchu. Díky popsaným principům bylo možné zlepšit měřící zařízení …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 5. 2021
Thesis defence
- Supervisor: Ing. Pavel Psota, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
SEDLÁČKOVÁ, Karolína. \textit{Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností}. Online. Master's thesis. Liberec: Technical University of Liberec, Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies. 2021. Available from: https://theses.cz/id/bb4m2s/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
Sedláčková, Karolína. Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností. Liberec, 2021. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíTechnical University of Liberec
Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary StudiesMaster programme / field:
Applied Sciences in Engineering / Applied Sciences in Engineering
Theses on a related topic
Name
Posted by
Uploaded/Created
Rights