Určení fraktálové dimenze náhodně drsného povrchu difuzním rozptylem rtg záření

Bc. Gorica Nikolić

Bakalářská práce

Determination of the fractal dimension of a rough surface by diffuse x-ray scattering

Anotace:

V předložené práci se zabývám difuzní­m rozptylem rtg záření­ na náhodně drsných površích. Při difuzním rozptylu se záření dopadající na povrch, který není ideálně hladký, rozptyluje do všech směrů. Cílem této práce je měřením intenzity rozptýleného záření zpětně určit parametry charakterizující takovýto povrch (střední kvadratickou drsnost, korelační délku, exponent drsnosti, případně tloušťku vrstvy, jejíž povrch se zkoumá) a pomocí určeného exponentu drsnosti spočítat jeho fraktálovou dimenzi. Dělala jsem měření pro jeden vzorek s vrstvou platiny na křemíkovém substrátu a pro pět vzorků s vrstvou hliníku také na křemíkovém substrátu.

Abstract:

In the present work we study diffuse x-ray scattering from random rough surfaces. The goal of this paper is determination of the parameters that characterize random rough surfaces (root mean square, correlation length, roughness exponent and, where it was possible, thickness of the layer) by measuring intensity of the scattered radiation; and computing the fractal dimension of these surfaces by roughness exponent. I measured one sample with platinium layer on the silicon substrate and five samples with aluminium layer on the silicon substrate.

Klíčová slova

střední kvadratická drsnost, korelační funkce, fraktálová dimenze, difuzní rozptyl, DWBA

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 5. 2008

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 30. 6. 2008
• Vedoucí: prof. RNDr. Václav Holý, CSc.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika