Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam. – Jakub Toběrný
Jakub Toběrný
Bachelor's thesis
Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam.
Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam.
Anotácia:
Různé typy mikrostruktur mohou být připraveny za použití laserové litografie s přímým zápisem. Většina těchto struktur jsou optické difrakční součástky, po kterých je velká poptávka. Realizace požadované velikosti a tvaru struktury může být však problematická z důvodu různé nelineární odezvy různých typů fotorezistů na expoziční dávku. Optimalizace litografických parametrů a pochopení chemie fotorezistu …viacAbstract:
Various types of micro-structures can be prepared using direct writing laser lithography. The majority of these structures are optical diffractive components, which are in high demand. However, implementation of the desired structure size and shape may be problematic due to the different non-linear responses of different types of photoresists to the exposure dose. Optimization of lithographic parameters …viac
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 5. 5. 2023
Identifikátor:
http://hdl.handle.net/10084/150449
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 8. 6. 2023
- Vedúci: Tomáš Kohut
- Oponent: Libor Kotačka
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
TOBĚRNÝ, Jakub. \textit{Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam.}. Online. Bakalárska práca. Ostrava: Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava, Fakulta materiálově-technologická. 2023. Dostupné z: https://theses.cz/id/c3q35e/.
Plný text práce
Právo: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS)se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: VŠB – Technická univerzita OstravaVSB – Technical University of Ostrava
Fakulta materiálově-technologickáBachelor programme:
Nanotechnologie
Práce na příbuzné téma
-
Dokování proteinů do map z mikroskopie atomárních sil
Pavol Mikulaj -
Tvorba bezpečnostních značek pomocí mikroskopie atomárních sil
Josef KUDĚLKA -
Mikroskopie atomárních sil polotuhých materiálů
Anna Šudáková -
Využití mikroskopie atomárních sil při morfologické a fyzikálně-chemické analýze mikrobiálních buněk a buněčných komponent
Ondřej Blaňka -
Lokální oxidace grafenu pomocí mikroskopie atomárních sil
Jan Vymazal -
Využití mikroskopie atomárních sil ke studiu hydrogelových systémů
Kateřina Lišková -
Lokální oxidace grafenu pomocí mikroskopie atomárních sil
Jan Vymazal -
Speciální metody mikroskopie atomárních sil.
Michal Brixí