Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam. – Jakub Toběrný
Jakub Toběrný
Bachelor's thesis
Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam.
Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam.
Abstract:
Různé typy mikrostruktur mohou být připraveny za použití laserové litografie s přímým zápisem. Většina těchto struktur jsou optické difrakční součástky, po kterých je velká poptávka. Realizace požadované velikosti a tvaru struktury může být však problematická z důvodu různé nelineární odezvy různých typů fotorezistů na expoziční dávku. Optimalizace litografických parametrů a pochopení chemie fotorezistu …moreAbstract:
Various types of micro-structures can be prepared using direct writing laser lithography. The majority of these structures are optical diffractive components, which are in high demand. However, implementation of the desired structure size and shape may be problematic due to the different non-linear responses of different types of photoresists to the exposure dose. Optimization of lithographic parameters …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 5. 5. 2023
Identifier:
http://hdl.handle.net/10084/150449
Thesis defence
- Date of defence: 8. 6. 2023
- Supervisor: Tomáš Kohut
- Reader: Libor Kotačka
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
TOBĚRNÝ, Jakub. \textit{Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam.}. Online. Bachelor's thesis. Ostrava: VŠB - Technical University of Ostrava, Fakulta materiálově-technologická. 2023. Available from: https://theses.cz/id/c3q35e/.
Full text of thesis
Accessibility: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS)se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: VŠB – Technická univerzita OstravaVSB – Technical University of Ostrava
Fakulta materiálově-technologickáBachelor programme:
Nanotechnologie
Theses on a related topic
-
Dokování proteinů do map z mikroskopie atomárních sil
Pavol Mikulaj -
Tvorba bezpečnostních značek pomocí mikroskopie atomárních sil
Josef KUDĚLKA -
Automatické vyhodnocení obrázků DNA origami z mikroskopie atomárních sil
Kristýna Jirásková -
Využití mikroskopie atomárních sil ke studiu hydrogelových systémů
Kateřina Lišková -
Využití mikroskopie atomárních sil ke studiu vybraného bakteriálního kmene
Simona Nováková -
Lokální oxidace grafenu pomocí mikroskopie atomárních sil
Jan Vymazal -
Mikroskopie atomárních sil polotuhých materiálů
Anna Šudáková -
Využití mikroskopie atomárních sil při morfologické a fyzikálně-chemické analýze mikrobiálních buněk a buněčných komponent
Ondřej Blaňka