Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle – Michal TICHÝ
Michal TICHÝ
Master's thesis
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Reactive High-Power Impulse Magnetron Sputtering of VO2 thin films on glass
Abstract:
Práce se zabývá problematikou vysokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové depozice (HiPIMS) vrstev oxidu vanadičitého VO2 na skleněných substrátech. Cílem je vytvořit termochromické tenké vrstvy VO2 pomocí řízeného procesu HiPIMS depozice a vyšetřit vliv depozičních parametrů na výbojové charakteristiky a materiálové vlastnosti připravených vrstev. Vrstvy byly připraveny v atmosféře argonu a kyslíku …moreAbstract:
This thesis deals with reactive High-Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) of vanadium dioxide thin films on glass substrates. The aim is to create VO2 thermochromic thin films through controlled HiPIMS deposition and investigate the influence of deposition parameters on discharge characteristics and material properties of prepared films. Thin films were prepared in argon and oxygen atmosphere …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 30. 5. 2016
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
TICHÝ, Michal. \textit{Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle}. Online. Master's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2016. Available from: https://theses.cz/id/c81ps4/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
TICHÝ, Michal. Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle. Plzeň, 2016. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ