Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu – Zdeněk Dvořák
Zdeněk Dvořák
Bakalářská práce
Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu
Preparation of Structures Through a Polymer Resist Mask
Anotace:
Tato bakalářská práce se zaměřuje na techniku přípravy struktur pomocí procesu lift-off. V teoretické části je vysvětlen princip fungování různých litografických technik a metod depozice cílového materiálu. Součástí praktické části je příprava polymerních masek pomocí elektronové litografie na křemíkovém substrátu a polyimidové fólii. Na základě měření tloušťky vrstev mechanickým profilometrem byly …víceAbstract:
This bachelor thesis focuses on the technique of preparing structures using the lift-off process. The theoretical part explains the principle of various lithographic techniques and methods of deposition of target material. The practical part includes the preparation of polymer masks by electron beam lithography on silicon substrate and polyimide film. Based on layer thickness measurements using a mechanical …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 5. 2024
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Mgr. Michal Urbánek, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
Dvořák, Zdeněk. Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu. Zlín, 2024. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologickáPlny text prace je k dispozici v elektronicke podobe
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně
Fakulta technologickáBakalářský studijní program / obor:
Materiály a technologie / Materiálové inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Reliéfní struktury připravené pomocí elektronové litografie
Michal Urbánek -
Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem
Jaroslav Navrátil -
Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Jaroslav Navrátil