Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu – Zdeněk Dvořák
Zdeněk Dvořák
Bachelor's thesis
Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu
Preparation of Structures Through a Polymer Resist Mask
Abstract:
Tato bakalářská práce se zaměřuje na techniku přípravy struktur pomocí procesu lift-off. V teoretické části je vysvětlen princip fungování různých litografických technik a metod depozice cílového materiálu. Součástí praktické části je příprava polymerních masek pomocí elektronové litografie na křemíkovém substrátu a polyimidové fólii. Na základě měření tloušťky vrstev mechanickým profilometrem byly …moreAbstract:
This bachelor thesis focuses on the technique of preparing structures using the lift-off process. The theoretical part explains the principle of various lithographic techniques and methods of deposition of target material. The practical part includes the preparation of polymer masks by electron beam lithography on silicon substrate and polyimide film. Based on layer thickness measurements using a mechanical …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 5. 2024
Thesis defence
Citation record
The right form of listing the thesis as a source quoted
Dvořák, Zdeněk. Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu. Zlín, 2024. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologickáPlny text prace je k dispozici v elektronicke podobe
Tomas Bata University in Zlín
Faculty of TechnologyBachelor programme / field:
Materials and Technologies / Material Engineering
Theses on a related topic
-
Reliéfní struktury připravené pomocí elektronové litografie
Michal Urbánek -
Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem
Jaroslav Navrátil -
Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Jaroslav Navrátil