Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu

Zdeněk Dvořák

Bakalářská práce

Preparation of Structures Through a Polymer Resist Mask

Anotace:

Tato bakalářská práce se zaměřuje na techniku přípravy struktur pomocí procesu lift-off. V teoretické části je vysvětlen princip fungování různých litografických technik a metod depozice cílového materiálu. Součástí praktické části je příprava polymerních masek pomocí elektronové litografie na křemíkovém substrátu a polyimidové fólii. Na základě měření tloušťky vrstev mechanickým profilometrem byly pro přípravu polymerní masky zvoleny roztoky připravené z PMMA o vyšší a nižší molární hmotnosti. Přes masky byly na křemíkovém substrátu lift-off procesem vytvořeny vodivé struktury z vrstvy Ag. Charakterizace struktur byla provedena pomocí optické mikroskopie, mechanické profilometrie a skenovací elektronové mikroskopie. Při charakterizaci byl kladen důraz na porovnání velikostí výsledných rozměrů struktur.

Abstract:

This bachelor thesis focuses on the technique of preparing structures using the lift-off process. The theoretical part explains the principle of various lithographic techniques and methods of deposition of target material. The practical part includes the preparation of polymer masks by electron beam lithography on silicon substrate and polyimide film. Based on layer thickness measurements using a mechanical profilometer, solutions prepared from PMMA of higher and lower molar mass were selected for polymer mask preparation. Using the masks, conductive Ag structures were prepared on the silicon substrate by a lift-off process. Characterization of the structures was performed by optical microscopy, mechanical profilometry and scanning electron microscopy. The comparison of the size of the structures was the main focus of the characterisation.

Klíčová slova

litografické techniky, elektronová litografie, lift-off proces, polymerní rezist

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 5. 2024

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Mgr. Michal Urbánek, Ph.D.

Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně

Fakulta technologická

Bakalářský studijní program / obor:
Materiály a technologie / Materiálové inženýrství