Depozice dekorativních vrstev metodou Magnetronového naprašování a hodnocení vybraných vlastností v závislosti na tloušťkách připravených vrstev.

Bc. Jan Kocman

Diplomová práce

Anotace:

Práce se v teoretické části zabývá metodami depozic tenkých vrstev technologií PVD, popisem depozičního zařízení a procesů v něm probíhajících. Práce je zaměřena na vlastnosti povrchu tenkých vrstev a metody jejich hodnocení. V experimentální části byli vyrobeny dekorativní tenké vrstvy chromu, mědi, titanu, nerezy a niklu různých tlouštěk. Vrstvy byly deponovány na substráty oceli a mosazi. Byly stanoveny vybrané vlastnosti povrchu připravených tenkých vrstev v závislosti na jejich tloušťce. Hodnocení bylo zaměřeno na drsnost povrchu, kontaktní úhel smáčení, barevný odstín, adheze vrstvy a korozního testy.

Abstract:

The theoretical part of the thesis is about the methods of thin film deposition by PVD technology, describing the deposition chamber and work processes happening in the chamber. The thesis focuses on surface properties of thin film and the methods of their evaluation. Thin decorative films of chrome, copper, titanium, stainless steel and nickel of various thicknesses were produced in the experimental part. Layers were deposited on substrates of steel and brass. Selected surface properties of the prepared thin layers were determined depending on their thickness. The evaluation was focused on surface roughness, contact angel, hue, adhesion and corrosion tests.

Klíčová slova

depozice tenkých vrstev, magnetronové naprašování, vlastnosti tenkých vrstev, korozní odolnost

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 5. 1. 2024

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Lukáš Voleský, Ph.D.

Technická univerzita v Liberci

Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií

Magisterský studijní program / obor:
Nanotechnologie / Nanotechnologie