Mgr. Tereza Schmidtová

Bakalářská práce

Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií

Study of reactive magnetron sputtering by optical emission spectroscopy
Anotace:
Tato práce se věnuje studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí optické emisní spektroskopie. V první části jsou vyloženy základní fyzikální principy naprašování a základní metody diagnostiky plazmatu včetně optické emisní spektroskopie. Dále je popsán Bergův model. Výsledky sestaveného programu jsou diskutovány. Byl studován efekt vybraných parametrů na hysterezní jev. Je popsán způsob měření …více
Abstract:
This work dedicates itself to study of reactive magnetron sputtering using optical emission spectroscopy. The basic principles of sputtering and basic plasma diagnostic methods including optical emission spectroscopy are presented in first section. Next, the Berg model is described. The results of created programme are discussed. The effect of selected parameters on hysteresis effect is studied. The …více
 

Klíčová slova

magnetronové naprašování magnetron sputtering Berg model spektroskopie spectroscopy hystereze hysteresis
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 5. 2007
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/myn12/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 27. 6. 2007
  • Vedoucí: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce