Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií – Mgr. Tereza Schmidtová
Mgr. Tereza Schmidtová
Bachelor's thesis
Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií
Study of reactive magnetron sputtering by optical emission spectroscopy
Abstract:
Tato práce se věnuje studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí optické emisní spektroskopie. V první části jsou vyloženy základní fyzikální principy naprašování a základní metody diagnostiky plazmatu včetně optické emisní spektroskopie. Dále je popsán Bergův model. Výsledky sestaveného programu jsou diskutovány. Byl studován efekt vybraných parametrů na hysterezní jev. Je popsán způsob měření …moreAbstract:
This work dedicates itself to study of reactive magnetron sputtering using optical emission spectroscopy. The basic principles of sputtering and basic plasma diagnostic methods including optical emission spectroscopy are presented in first section. Next, the Berg model is described. The results of created programme are discussed. The effect of selected parameters on hysteresis effect is studied. The …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 22. 5. 2007
Identifier:
https://is.muni.cz/th/myn12/
Thesis defence
- Date of defence: 27. 6. 2007
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Applied Physics / Astrophysics
Theses on a related topic
-
Magnetron sputtered hard ternary coatings with enhanced fracture toughness
Michael Kroker -
Development of ternary and quaternary nanostructured coatings and their preparation by magnetron sputtering
Stanislava Debnárová -
Časově rozlišená spektroskopie HIPIMS výboje
Matej Fekete -
Hystereze nezaměstnanosti v zemích V4
Barbora Dunajová -
Testování hystereze nezaměstnanosti
Dominika Hustinová -
Hystereze nezaměstnanosti a sezónnost časových řad
Dominika Hustinová -
Studium nízkotlaké hystereze při sorpci plynů na porézních materiálech
Lucie ZELENÁ -
Testování hypotézy hystereze nezaměstnanosti ve fázi ekonomické konjunktury
Michal Sibal