Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií – Mgr. Tereza Schmidtová
Mgr. Tereza Schmidtová
Bakalářská práce
Studium reaktivního magnetronového naprašování optickou emisní spektroskopií
Study of reactive magnetron sputtering by optical emission spectroscopy
Anotace:
Tato práce se věnuje studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí optické emisní spektroskopie. V první části jsou vyloženy základní fyzikální principy naprašování a základní metody diagnostiky plazmatu včetně optické emisní spektroskopie. Dále je popsán Bergův model. Výsledky sestaveného programu jsou diskutovány. Byl studován efekt vybraných parametrů na hysterezní jev. Je popsán způsob měření …víceAbstract:
This work dedicates itself to study of reactive magnetron sputtering using optical emission spectroscopy. The basic principles of sputtering and basic plasma diagnostic methods including optical emission spectroscopy are presented in first section. Next, the Berg model is described. The results of created programme are discussed. The effect of selected parameters on hysteresis effect is studied. The …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 5. 2007
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/myn12/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 27. 6. 2007
- Vedoucí: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika / Astrofyzika
Práce na příbuzné téma
-
Magnetron sputtered hard ternary coatings with enhanced fracture toughness
Michael Kroker -
Development of ternary and quaternary nanostructured coatings and their preparation by magnetron sputtering
Stanislava Debnárová -
Časově rozlišená spektroskopie HIPIMS výboje
Matej Fekete -
Hystereze nezaměstnanosti v zemích V4
Barbora Dunajová -
Testování hystereze nezaměstnanosti
Dominika Hustinová -
Hystereze nezaměstnanosti a sezónnost časových řad
Dominika Hustinová -
Studium nízkotlaké hystereze při sorpci plynů na porézních materiálech
Lucie ZELENÁ -
Testování hypotézy hystereze nezaměstnanosti ve fázi ekonomické konjunktury
Michal Sibal