Studium a úprava povrchů skenovacím elektronovým mikroskopem – Bc. Adam Weiser
Bc. Adam Weiser
Bachelor's thesis
Studium a úprava povrchů skenovacím elektronovým mikroskopem
Study and modification of surfaces by scanning electron microscopy
Abstract:
V této práci se věnuji problematice použití skenovacího elektronového mikroskopu při zobrazení povrchu polovodičů a jejich úpravou pomocí iontového fokusovaného svazku. Experimentální část práce je provedena na mikroskopu FEI Quanta 3D 200i. Jejím cílem je analýza profilů a tvarů čar vzniklých odprášením křemíku pomocí fokusovaného iontového svazku v závislosti na proudu a délce expozice a nalezení …moreAbstract:
In this thesis I use a scanning electron microscope for surfaces of semiconductors and their structuring using a focused ion beam. The experimental part of this work is done on microscope Quanta 3D 200i by FEI. The aim is to analyze profiles and shapes of lines prepared by focused ion beam depending on current and dwell time and obtaining optimal settings for imagining a quality image with electron …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2015
Identifier:
https://is.muni.cz/th/fv1dm/
Thesis defence
- Date of defence: 23. 6. 2015
- Supervisor: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Characterisation and modification of copper surfaces for cryogenic vacuum components of particle accelerators
Eva Stránělová -
Сhemical modification of surfaces for the design of smart materials
Olga Guselnikova -
Electron vortex beams in the scanning electron microscope
Tomáš Řiháček -
Příprava, měření a určování struktur biomolekul metodami elektronové mikroskopie
Martina Zánová -
Application of Scanning Probe Microscopy for the Study of Ultrathin Films and Nanostructures
Jan Neuman -
Application of Scanning Probe Microscopy for the Study of Ultrathin Films and Nanostructures
Jan Neuman -
Studium a úprava povrchů elektronovým mikroskopem
Filip Werl