Zpět na vyhledávání

Bc. Adam Weiser

Bakalářská práce

Studium a úprava povrchů skenovacím elektronovým mikroskopem

Study and modification of surfaces by scanning electron microscopy
Anotace:
V této práci se věnuji problematice použití skenovacího elektronového mikroskopu při zobrazení povrchu polovodičů a jejich úpravou pomocí iontového fokusovaného svazku. Experimentální část práce je provedena na mikroskopu FEI Quanta 3D 200i. Jejím cílem je analýza profilů a tvarů čar vzniklých odprášením křemíku pomocí fokusovaného iontového svazku v závislosti na proudu a délce expozice a nalezení …více
Abstract:
In this thesis I use a scanning electron microscope for surfaces of semiconductors and their structuring using a focused ion beam. The experimental part of this work is done on microscope Quanta 3D 200i by FEI. The aim is to analyze profiles and shapes of lines prepared by focused ion beam depending on current and dwell time and obtaining optimal settings for imagining a quality image with electron …více
 

Klíčová slova

SEM elektronová mikroskopie FIB iontový svazek studium povrchů úprava povrchů electron microscopy focused ion beam study of surfaces modification of surfaces
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2015
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/fv1dm/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 23. 6. 2015
  • Vedoucí: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce