Bc. Jiří Šperka, Ph.D.

Diplomová práce

Plazmochemická depozice diamantových vrstev v duálním mikrovlnném/vysokofrekvečním výboji

Plasmachemical deposition diamond films in dual microwave/radio frequency discharge
Anotace:
Tato práce se zabývá depozicí ultrananokrystalických diamantových vrstev na křemík, titan a zlato plazmochemickou depozicí z plynné fáze v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX, který využívá mikrovlnný (2,45 GHz) a radiofrekvenční (13,56 MHz) výboj. Záporné stejnosměrné samopředpětí (metoda BEN), které vzniká díky radiofrekvenčnímu výboji, bylo využito pro počáteční nukleaci …více
Abstract:
This thesis deals with the deposition of ultrananocrystalline diamond films by plasma enhanced chemical vapor deposition in conventional bell jar plasma reactor of ASTeX type using dual frequency discharge, microwave (2,45 GHz) and radio frequency (13,56 MHz). The latter discharge, leading to the dc self-biasing of the substrate, was used to initiate diamond nucleation and continued to deposit ultrananocrystalline …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 12. 5. 2011

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 17. 6. 2011
  • Vedoucí: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta