Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev

Mgr. Jan Čupera

Bakalářská práce

Deposition and characterisation of diamon-like carbon thin films

Anotace:

Tato práce je zaměřena na vývoj nových typů diamantu-podobných vrstev určených pro ochranu povrchu plastových materiálů a na jejich charakterizaci. Vrstvy byly připraveny pomocí depozice z plynné fáze v nízkoteplotním plazmatu doutnavého výboje na plošné substráty. Teoretická část práce se zabývá popisem vyvíjeného materiálu a procesu depozice v kapacitně vázaném vysokofrekvenčním reaktoru s rovnoběžnými elektrodami. Experimentální část zahrnuje popis depozičního procesu a použitých charakterizačních technik. Charakterizace vrstev zahrnuje analýzy mechanických, optických a povrchových vlastností vrstev připravených ze směsi hexamethyldisiloxanu, metanu a dusíku. Na těchto typech vrstev byl sledován vliv změn depozičních podmínek na změny vlastností připravených vrstev.

Abstract:

This work is focused on the preparation and characterisation of new type of Diamond-like carbon coatings developed for protection of plastic materials. The coatings were prepared using plasma enhanced chemical vapour deposition technique in low pressure glow discharges on flat substrates. The theoretical part is devoted to description of developed materials and the principles of deposition process in parallel plate capacitively coupled radiofrequency reactor. The experimental part is devoted to the description of deposition process and characterisation techniques used. The film characterisation includes analysis of mechanical, optical and surface properties of the coatings prepared from mixtures of hexamethyldisiloxane, methane and nitrogen. Within the frame of this work the influence of deposition process parameters on the change in properties of prepared coatings was studied.

Klíčová slova

DLC, Diamond-Like Carbon Films, HMDSO, hexamethyldisiloxan, mikrotvrdost, microhardness, volná povrchová energie, Surface Free Energy.

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 19. 5. 2010

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 28. 6. 2010
• Vedoucí: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika