Elektrická sonda bez vf. kompenzace v plazmatu kapacitního výboje – Mgr. Juraj Pálenik
Mgr. Juraj Pálenik
Bakalářská práce
Elektrická sonda bez vf. kompenzace v plazmatu kapacitního výboje
Electric probe with no RF compensation in capacitively coupled plasma
Abstract:
The topic of this thesis is time evolution of plasma potential during the period of capacitively coupled RF discharge. An improved model for measurement with high impedance probe without RF compensation is presented. The model allows for measurement even when the probe potential is near plasma potential.Abstract:
Práca sa zaoberá problematikou merania potenciálu plazmy v kapacitne viazanom výboji. Popisuje vylepšený model na spracovanie merania vysokoimpedančnej nekompenzovanej sondy, ktorý umožňuje merať potenciál aj v prípadoch keď je potenciál sondy blízko potenciálu plazmy.
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 19. 5. 2017
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/pz40o/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 26. 6. 2017
- Vedoucí: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Organosilicon coatings based on trimethylsilyl acetate monomer prepared using plasma of RF capacitively coupled glow discharge
Štěpánka Kelarová -
Vyšší harmonické frekvence kapacitně vázaných výbojů
Maroš Tkáčik -
Komplexní diagnostika reaktivního plazmatu doutnavého výboje
Pavel Dvořák -
Bioelectronic interfaces studied with scanning probe microscopy
Zdeněk Farka -
Application of Scanning Probe Microscopy for the Study of Ultrathin Films and Nanostructures
Jan Neuman -
Chemical and physical properties of molecular nanostructures on surfaces investigated by means of scanning probe microscopy
Benjamin Jose MALLADA FAES -
Vývoj metodiky pro charakterizaci acidobazických vlastností zeolitů pomocí probe reakce
Jiří Kotera -
Chemical and Physical Properties of Nanostructures on Surface Investigated by Scanning Probe Microscopy
Vijai Meena SANTHINI