Mgr. Juraj Pálenik

Bachelor's thesis

Elektrická sonda bez vf. kompenzace v plazmatu kapacitního výboje

Electric probe with no RF compensation in capacitively coupled plasma
Abstract:
The topic of this thesis is time evolution of plasma potential during the period of capacitively coupled RF discharge. An improved model for measurement with high impedance probe without RF compensation is presented. The model allows for measurement even when the probe potential is near plasma potential.
Abstract:
Práca sa zaoberá problematikou merania potenciálu plazmy v kapacitne viazanom výboji. Popisuje vylepšený model na spracovanie merania vysokoimpedančnej nekompenzovanej sondy, ktorý umožňuje merať potenciál aj v prípadoch keď je potenciál sondy blízko potenciálu plazmy.
 

Keywords

plazma kapacitný výboj sonda nekompenzovaná sonda potenciál plazmy plasma capacitively coupled discharge probe plasma potential
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 19. 5. 2017
Identifier: https://is.muni.cz/th/pz40o/

Thesis defence

  • Date of defence: 26. 6. 2017
  • Supervisor: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution