Mgr. Juraj Pálenik

Bakalářská práce

Elektrická sonda bez vf. kompenzace v plazmatu kapacitního výboje

Electric probe with no RF compensation in capacitively coupled plasma
Abstract:
The topic of this thesis is time evolution of plasma potential during the period of capacitively coupled RF discharge. An improved model for measurement with high impedance probe without RF compensation is presented. The model allows for measurement even when the probe potential is near plasma potential.
Abstract:
Práca sa zaoberá problematikou merania potenciálu plazmy v kapacitne viazanom výboji. Popisuje vylepšený model na spracovanie merania vysokoimpedančnej nekompenzovanej sondy, ktorý umožňuje merať potenciál aj v prípadoch keď je potenciál sondy blízko potenciálu plazmy.
 

Klíčová slova

plazma kapacitný výboj sonda nekompenzovaná sonda potenciál plazmy plasma capacitively coupled discharge probe plasma potential
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 19. 5. 2017
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/pz40o/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 26. 6. 2017
  • Vedoucí: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce