Zpět na vyhledávání

Bc. Nikola Tulisová

Master's thesis

In-situ studium vnitřního pnutí vrstev připravených pomocí magnetronového naprašování

In-situ study of internal stress in thin films prepared by magnetron sputtering
Abstract:
This thesis is devoted to in-situ stress measurement in thin films prepared by magnetron sputtering. Multibeam optical stress sensor (MOSS) was used for measurement. The main objective of this work was to explain stress behavior during thin film growth by theoretical stress generation mechanisms. Molybdenum, tantalum, tungsten, copper and W-B-C were deposited on silicon substrate as reference systems …more
Abstract:
Tato diplomová práce se věnuje in-situ měření pnutí v tenkých vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním. Pro toto měření byl použit vícesvazkový optický senzor na měření pnutí (Multibeam optical stress senzor - MOSS). Hlavním cílem bylo propojit teoretické mechismy popisující produkci pnutí s nameřeným vývojem pnutí. Byly deponované jednoduché kovy a to molybdén, tantal, wolfram a měď. Taky …more
 

Keywords

Pnutí tenká vrstva magnetrónové naprašování vnútorné napätie magnetrónové naprašovanie stress thin film magnetron sputtering
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 10. 5. 2017
Identifier: https://is.muni.cz/th/vxumv/

Thesis defence

  • Date of defence: 15. 6. 2017
  • Supervisor: Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution