Bc. Nikola Tulisová

Master's thesis

In-situ studium vnitřního pnutí vrstev připravených pomocí magnetronového naprašování

In-situ study of internal stress in thin films prepared by magnetron sputtering
Abstract:
This thesis is devoted to in-situ stress measurement in thin films prepared by magnetron sputtering. Multibeam optical stress sensor (MOSS) was used for measurement. The main objective of this work was to explain stress behavior during thin film growth by theoretical stress generation mechanisms. Molybdenum, tantalum, tungsten, copper and W-B-C were deposited on silicon substrate as reference systems …viac
Abstract:
Tato diplomová práce se věnuje in-situ měření pnutí v tenkých vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním. Pro toto měření byl použit vícesvazkový optický senzor na měření pnutí (Multibeam optical stress senzor - MOSS). Hlavním cílem bylo propojit teoretické mechismy popisující produkci pnutí s nameřeným vývojem pnutí. Byly deponované jednoduché kovy a to molybdén, tantal, wolfram a měď. Taky …viac
 
 
Jazyk práce: Slovak
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 10. 5. 2017

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 15. 6. 2017
  • Vedúci: Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta