In-situ studium vnitřního pnutí vrstev připravených pomocí magnetronového naprašování

Bc. Nikola Tulisová

Master's thesis

In-situ study of internal stress in thin films prepared by magnetron sputtering

Abstract:

This thesis is devoted to in-situ stress measurement in thin films prepared by magnetron sputtering. Multibeam optical stress sensor (MOSS) was used for measurement. The main objective of this work was to explain stress behavior during thin film growth by theoretical stress generation mechanisms. Molybdenum, tantalum, tungsten, copper and W-B-C were deposited on silicon substrate as reference systems. The effect of impinging atom energy, thin film structure, substrate surface and heating on the stress evolution over the thin film growth was studied.

Abstract:

Tato diplomová práce se věnuje in-situ měření pnutí v tenkých vrstvách připravovaných magnetronovým naprašováním. Pro toto měření byl použit vícesvazkový optický senzor na měření pnutí (Multibeam optical stress senzor - MOSS). Hlavním cílem bylo propojit teoretické mechismy popisující produkci pnutí s nameřeným vývojem pnutí. Byly deponované jednoduché kovy a to molybdén, tantal, wolfram a měď. Taky byl deponovaný nanolaminát W-B-C. Byl zkoumaný vliv povrchu substrátu, struktury tenké vrstvy, energie dopadajících částic a vliv teploty substrátu.

Kľúčové slová

Pnutí, tenká vrstva, magnetrónové naprašování, vnútorné napätie, magnetrónové naprašovanie, stress, thin film, magnetron sputtering

Jazyk práce: Slovak

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 10. 5. 2017

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 15. 6. 2017
• Vedúci: Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Masaryk University

Faculty of Science

Master programme / odbor:
Physics / Plasma Physics