Studium chování tenkovrstvých kovových skel W-Zr za zvýšených teplot

Barbora BAŠTÁŘOVÁ

Bakalářská práce

Anotace:

V rámci bakalářské práce byl zkoumán vliv teploty ohřevu ve vzduchu na strukturu a vlastnosti vrstev W-Zr. Zkoumány byly tři vrstvy W-Zr s rozdílným obsahem Zr (32 at.% Zr, 48 at.% Zr a 61 at.% Zr). Tyto vrstvy byly připraveny pomocí nereaktivního stejnosměrného magnetronového naprašování v argonové atmosféře. Vyšetřována byla struktura, prvkové složení, mechanické vlastnosti, elektrická rezistivita a extinkční koeficient vrstev před a po ohřevu v syntetickém vzduchu na různé teploty až do teploty 600 °C. Vyšetřována byla také změna hmotnosti těchto vrstev během ohřevu v syntentickém vzduchu až do teploty 600 °C pomocí termogravimetrie. Bylo zjištěno, že vrstvy lze zařadit mezi amorfní kovová skla a amorfní struktura zůstává zachována i po ohřevu na teplotu 600 °C. Během ohřevu se do vrstev zabudovává kyslík, což má výrazný vliv na vlastnosti vrstev. Tvrdost, efektivní Youngův modul a elastická vratnost se zvyšují, naopak elektrická rezistivita a extinkční koeficient se snižují.

Abstract:

In the bachelor thesis, the effect of heating temperature in the air on the structure and properties of the W-Zr thin-film alloys was examined. Three W-Zr thin-film alloys with different Zr content were examined (32 at.% Zr, 48 at.% Zr and 61 at.% Zr). The films were prepared by dc magnetron co-sputtering in the argon atmosphere. The structure, element content, mechanical properties, electrical resistivity, extinction coefficient of films before and after heating in synthetic air to different tepmperatures uú to 600 °C have been examined. Mass change of these films were examined during heating in synthetic air to 600 °C using thermogravimetry. It was found that the films can be ranked between amorphous metal glass and the amorphous structure remains after heating to 600 °C. During the heating, oxygen is incorporated into films, which has a significant effect on the properties of the films. Hardness, effective Young's modul and elasticity increase, while electrical resisitivity and extinction coefficient decrease.

Klíčová slova

W-Zr, tenkovrstvá kovová skla, amorfní struktura, oxidační chování, elektrická rezistivita, mechanické vlastnosti, extinkční koeficient

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 30. 5. 2023

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Šárka Zuzjaková, Ph.D.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství