Tomáš Horák

Bakalářská práce

Ellipsometric measurement methods in infrared range using phase modulation

Ellipsometric measurement methods in infrared range using phase modulation
Anotace:
Spektroskopická infračervená elipsometrie je optická metoda určená k charakterizaci vlastností tenkovrstevných systémů. Tato metoda kombinuje infračervenou spektroskopii a elipsometrii. Hlavní výhodou elipsometrie je měření dvou spektrálně svázaných úhlů \Psi a \Delta a využití těchto parametrů k určení charakteristik zkoumaného materiálu, např. indexu lomu. V této práci je představen popis (teoretický …více
Abstract:
Spectroscopic infrared ellipsometry is an optical method intended for characterization of thin-film systems properties. The method combines the infrared spectroscopy and the ellipsometry. The main advantage of ellipsometry is the measurement of two spectrally tied ellipsometric angles \Psi and \Delta and use of these parameters for the determination of some characteristics of measured material, e.g …více
 
 
Jazyk práce: angličtina
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 5. 2012

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 12. 6. 2012
  • Vedoucí: Kamil Postava
  • Oponent: David Hrabovský

Citační záznam

Plný text práce

Právo: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS) se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: VŠB - Technická univerzita Ostrava

VŠB - Technická univerzita Ostrava

Univerzitní studijní programy

Bakalářský studijní program / obor:
Nanotechnologie / Nanotechnologie