Back to search

Bc. Terézia Halamová

Bachelor's thesis

Vliv topografie terče na ionizační centra v HiPIMS výboj

Effect of target topography on spoke behavior in HiPIMS discharge
Abstract:
High-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is a physical vapour deposition method capable of depositing high-quality thin films. The spontaneous formation of instabilities, commonly called ionization zones or spokes, can be observed in the discharge plasma. In this work, we investigate the effect of target topography on spokes in the non-reactive atmosphere of a HiPIMS discharge. Different target …more
Abstract:
Magnetrónové naprašovanie pulzmi vysokého výkonu (HiPIMS) je jednou z metód fyzikálnej depozície z plynnej fázy, ktorá sa vyznačuje vysokou kvalitou deponovaných tenkých vrstiev. V plazme výboja je možné pozorovať samovoľný vznik nestabilít, bežne zvaných ionizačné centrá alebo spoky. V tejto práci sa zaoberáme vplyvom topografie terča na spoky v nereaktívnej atmosfére HiPIMS výboja. Rozličná topografia …more
 

Keywords

HiPIMS magnetrónové naprašovanie PVD ionizačné centrá spoky magnetické pole magnetron sputtering ionisation zones spoke magnetic field
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 24. 5. 2023
Identifier: https://is.muni.cz/th/v0de4/

Thesis defence

  • Date of defence: 27. 6. 2023
  • Supervisor: Mgr. Peter Klein, Ph.D.
  • Reader: Mgr. Martina Mrkvičková, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution