Vliv topografie terče na ionizační centra v HiPIMS výboj

Bc. Terézia Halamová

Bakalářská práce

Effect of target topography on spoke behavior in HiPIMS discharge

Abstract:

High-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is a physical vapour deposition method capable of depositing high-quality thin films. The spontaneous formation of instabilities, commonly called ionization zones or spokes, can be observed in the discharge plasma. In this work, we investigate the effect of target topography on spokes in the non-reactive atmosphere of a HiPIMS discharge. Different target topography allows us to achieve different magnetic field strengths at different target locations. Using a fast camera, we investigated the shape, number and velocity of the spokes in addition to the effect of the varying magnetic field under different discharge conditions.

Abstract:

Magnetrónové naprašovanie pulzmi vysokého výkonu (HiPIMS) je jednou z metód fyzikálnej depozície z plynnej fázy, ktorá sa vyznačuje vysokou kvalitou deponovaných tenkých vrstiev. V plazme výboja je možné pozorovať samovoľný vznik nestabilít, bežne zvaných ionizačné centrá alebo spoky. V tejto práci sa zaoberáme vplyvom topografie terča na spoky v nereaktívnej atmosfére HiPIMS výboja. Rozličná topografia terča nám umožnila dosiahnuť rôznu silu magnetického poľa v jednotlivých miestach terča. Pomocou rýchlej kamery sme skúmali tvar, počet, rýchlosť spokov a zároveň vplyv premenlivého magnetického poľa v rôznych podmienkach výboja.

Klíčová slova

HiPIMS, magnetrónové naprašovanie, PVD, ionizačné centrá, spoky, magnetické pole, magnetron sputtering, ionisation zones, spoke, magnetic field

Jazyk práce: slovenština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 24. 5. 2023

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 27. 6. 2023
• Vedoucí: Mgr. Peter Klein, Ph.D.
• Oponent: Mgr. Martina Mrkvičková, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika – nanotechnologie / Fyzika – nanotechnologie