Modifikace povrchů pomocí iontové implantace – Bc. Maroš Polaček
Bc. Maroš Polaček
Bachelor's thesis
Modifikace povrchů pomocí iontové implantace
Surface modification by ion implantation
Abstract:
In this thesis we study plasma immersion ion implantation (PIII). The goal of this thesis is to find out the optimal working conditions for PIII. In the experimental section, which is divided into four different series of samples, we created titan nitrid layers below the surface of samples. In the first series we examined functionality of the equipment. From the second to the fourth series we changed …moreAbstract:
V tejto bakalárskej práci sa zaoberáme plazmovou imerznou iónovou implantáciou (PIII). Cieľom tejto práce je určiť optimálne podmienky pre proces PIII. Experimentálna časť je rozdelená na štyri rôzne série vzoriek, kde boli vytvorené titán nitridové vrstvy pod povrchom vzoriek. V prvej sérii bola odskúšaná funkčnosť aparatúry, v druhej až štvrtej sérii bola menená jedna z nasledujúcich pracovných podmienok …more
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 18. 5. 2016
Identifier:
https://is.muni.cz/th/z2npl/
Thesis defence
- Date of defence: 28. 6. 2016
- Supervisor: Mgr. Jan Voráč, Ph.D.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics
Theses on a related topic
-
Modifikace povrchů metodou plazmové imerzní iontové implantace
Lívia Macková -
Modifikace povrchů metodou plazmové imerzní iontové implantace
Lívia Macková -
Chemical and physical properties of molecular nanostructures on surfaces investigated by means of scanning probe microscopy
Benjamin Jose MALLADA FAES -
Modeling of polarization properties of diffracting surfaces
Tomáš Kohut -
Chemicko-tepelné spracovanie vnútorných povrchov vybranej oceli PO209
Miriam Gabčová -
Modifikace povrchů metodou plazmové imerzní iontové implantace
Lívia Macková -
Modifikace povrchů metodou plazmové imerzní iontové implantace
Lívia Macková