Zpět na vyhledávání

Bc. Maroš Polaček

Bakalářská práce

Modifikace povrchů pomocí iontové implantace

Surface modification by ion implantation
Abstract:
In this thesis we study plasma immersion ion implantation (PIII). The goal of this thesis is to find out the optimal working conditions for PIII. In the experimental section, which is divided into four different series of samples, we created titan nitrid layers below the surface of samples. In the first series we examined functionality of the equipment. From the second to the fourth series we changed …více
Abstract:
V tejto bakalárskej práci sa zaoberáme plazmovou imerznou iónovou implantáciou (PIII). Cieľom tejto práce je určiť optimálne podmienky pre proces PIII. Experimentálna časť je rozdelená na štyri rôzne série vzoriek, kde boli vytvorené titán nitridové vrstvy pod povrchom vzoriek. V prvej sérii bola odskúšaná funkčnosť aparatúry, v druhej až štvrtej sérii bola menená jedna z nasledujúcich pracovných podmienok …více
 

Klíčová slova

Iontová implantácia Plazmová imerzná iónová implantácia Nitridácia Ti Mechanické vlastnosti povrchov Ion implantation Plasma immersion ion implantation Nitridation of Ti Mechanical properties of surfaces
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 5. 2016
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/z2npl/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 28. 6. 2016
  • Vedoucí: Mgr. Jan Voráč, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce