Olga Spišáková

Diplomová práce

Metody měření povrchové a objemové kontaminace křemíkových desek

Methods of Evaluation of Surface and Volume Contamination of Silicon Wafers
Anotace:
Tato práce se zabývá analýzou stopových koncentrací železa, niklu a mědi na povrchu a v objemu křemíkových desek. Snaží se objasnit difúzní charakteristiky jednotlivých kovů, jejich rozpustnost, precipitační chování a elektrické vlastnosti v monokrystalickém křemíku. Metodou adsorpce kovu z cíleně kontaminovaného roztoku je dosaženo rovnoměrné distribuce kontaminantu v povrchové vrstvě křemíkové desky …více
Abstract:
In this work a trace analysis of iron, nickel and copper on the silicon wafer surface and in the bulk silicon is studied. It attempts to explain metal diffusion characteristics, their solubility, precipitation behavior and electrical properties in a single crystal silicon. A uniform distribution of contaminant through the silicon surface layer was achieved by metal adsorption from intentionally contaminated …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 7. 5. 2015

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 28. 5. 2015
  • Vedoucí: Vlastimil Vodárek
  • Oponent: Michal Lorenc

Citační záznam

Plný text práce

Právo: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS) se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • nikomu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: VŠB - Technická univerzita Ostrava

VŠB - Technická univerzita Ostrava

Fakulta metalurgie a materiálového inženýrství

Magisterský studijní program / obor:
Materiálové inženýrství / Technické materiály

Práce na příbuzné téma