Olga Spišáková

Master's thesis

Metody měření povrchové a objemové kontaminace křemíkových desek

Methods of Evaluation of Surface and Volume Contamination of Silicon Wafers
Abstract:
Tato práce se zabývá analýzou stopových koncentrací železa, niklu a mědi na povrchu a v objemu křemíkových desek. Snaží se objasnit difúzní charakteristiky jednotlivých kovů, jejich rozpustnost, precipitační chování a elektrické vlastnosti v monokrystalickém křemíku. Metodou adsorpce kovu z cíleně kontaminovaného roztoku je dosaženo rovnoměrné distribuce kontaminantu v povrchové vrstvě křemíkové desky …more
Abstract:
In this work a trace analysis of iron, nickel and copper on the silicon wafer surface and in the bulk silicon is studied. It attempts to explain metal diffusion characteristics, their solubility, precipitation behavior and electrical properties in a single crystal silicon. A uniform distribution of contaminant through the silicon surface layer was achieved by metal adsorption from intentionally contaminated …more
 
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 7. 5. 2015

Thesis defence

  • Date of defence: 28. 5. 2015
  • Supervisor: Vlastimil Vodárek
  • Reader: Michal Lorenc

Citation record

Full text of thesis

Accessibility: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS) se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • no one
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: VŠB - Technická univerzita Ostrava

VŠB - Technical University of Ostrava

Fakulta metalurgie a materiálového inženýrství

Master programme / field:
Materiálové inženýrství / Technické materiály